本实用新型涉及气路控制技术领域，且公开了一种防泄漏的高纯气路系统，包括气站、防泄漏控制电机、报警切断阀、流量测定比较阀、末端流量测定阀和用气终端，所述气站的顶端固定安装有排气扇，所述防泄漏控制电机的顶端与控制主机接入口的内壁固定安装，所述防泄漏控制电机的左侧固定安装有阀门连接口，该一种防泄漏的高纯气路系统，通过气站输送气体，气体通过控制柜流速受到报警切断阀控制，气体的流速依靠流量测定比较阀来进行测定，气体流速会反馈至防泄漏控制电机的终端，当出现气体泄漏时，报警切断阀报警关闭气阀，同时防泄漏控制电机控制排气扇使其开始工作，在用气终端处通过末端流量测定阀来检测流量以及对流速进行实时控制。