一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，涉及CVD工艺加工设备领域，针对现有的加工设备存在的密封性差，极易混入空气，影响产品质量，存在CVD气体泄漏风险，存在安全隐患，无法进行CVD生产的问题，现提出如下方案，其包括入口置换室，所述入口置换室侧壁安装有辊道窑体结构，所述辊道窑体结构包括升温箱、恒温箱、冷却箱、CVD气体打入管、冷却水喷头、辊道传送带和电加热器，所述辊道窑体结构远离入口置换室的一侧安装有出口置换室，所述辊道窑体结构侧壁安装有固定结构。本实用新型结构新颖，且密封效果好，密封持久性强，生产安全可靠，节约使用成本，完成CVD包覆工艺，避免CVD包覆死角，优化CVD包覆效果。
基本信息
专利标题 ：
一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022458478.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
CN214141593U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
渡边一矢钟海
申请人 ：
佛山高砂工业窑炉有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市禅城区南庄镇高新技术产业开发区吉利工业园新源二路东侧
代理机构 ：
广州市智远创达专利代理有限公司
代理人 ：
卓幼红
优先权 ：
CN202022458478.2
主分类号 ：
C01B25/45
IPC分类号 ：
C01B25/45 C23C16/44 F27D7/02 F16J15/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B25/00
磷；其化合物
C01B25/16
磷的含氧酸；其盐类
C01B25/26
磷酸盐
C01B25/45
含两种以上金属或金属和铵
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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