一种CMP设备用便于维护的压力传感器
授权
摘要
本实用新型提供一种CMP设备用便于维护的压力传感器,涉及压力传感器技术领域,包括器体和覆盖装置,所述器体的表面固定连接有显示屏,所述器体的表面固定连接有皮线,所述器体的表面设有覆盖装置,所述覆盖装置包括有两个方形板,两个方形板与器体固定连接,两个方形板之间固定连接有固定梢,所述固定梢的表面滑动连接有盖板,所述固定梢的表面套有第一弹簧,所述第一弹簧的一端与方形板固定连接,所述第一弹簧的另一端与盖板固定连接。本实用新型,解决了现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施,传感器上面的显示屏容易被落灰,而且传感器上的显示屏在长期使用后容易造成显示屏被刮花的情况,不便于工作人员对数据的读取的问题。
基本信息
专利标题 :
一种CMP设备用便于维护的压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022466237.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-30
授权号 :
CN212963787U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
刘欢
申请人 :
天津昂嘉科技发展有限公司
申请人地址 :
天津市武清区京津科技谷产业园祥园道160号122室-33
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022466237.2
主分类号 :
G01L1/00
IPC分类号 :
G01L1/00 G01L19/00 G09F9/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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