压力传感器芯片、压力传感器及电子设备
授权
摘要
本实用新型公开一种压力传感器芯片、压力传感器及电子设备。其中,所述压力传感器芯片包括基底和设于所述基底表面的至少两个压力传感器单元,至少两个所述压力传感器单元沿所述基底的厚度方向层叠。本实用新型的技术方案能够增大压力测量范围。
基本信息
专利标题 :
压力传感器芯片、压力传感器及电子设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020659907.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-26
授权号 :
CN212158891U
授权日 :
2020-12-15
发明人 :
李向光方华斌付博
申请人 :
潍坊歌尔微电子有限公司
申请人地址 :
山东省潍坊市潍坊高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
代理机构 :
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 :
王韬
优先权 :
CN202020659907.X
主分类号 :
G01L1/14
IPC分类号 :
G01L1/14 G01L9/12
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化,例如,测量电振荡器的频率变化
法律状态
2020-12-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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