本实用新型涉及平面磨装置技术领域，具体为一种具有内冷却机构的平面磨装置，包括支撑台，支撑台的顶部且位于后侧的位置设有X轴驱动装置，X轴驱动装置包括呈水平设置的第一矩形柱，第一矩形柱的前侧活动连接有移动块，移动块的顶部设有Z轴驱动装置，Z轴驱动装置包括呈竖直设置的第二矩形柱，第二矩形柱的前侧活动连接有移动板，移动板的顶部设有打磨装置，打磨装置包括防护箱，防护箱内且靠近右侧的位置竖直设有第一隔板，第一隔板侧面的中部设有半导体制冷片。该具有内冷却机构的平面磨装置，通过半导体制冷片可以对防护箱内进行制冷，从而降低防护箱内的温度，进而防止第三伺服电机因为过热而损坏。