平面阴极用隔离冷却结构

专利权的终止

摘要

本实用新型为一种平面阴极用隔离冷却结构，其设置在一平面阴极上，其包括：一基座，所述的基座上开有槽体，并具有一进水口以及一出水口，在所述槽体两侧设置有多组磁钢，其中，还包括：一隔离水槽，其设置在所述的基座上，具有一用来盛装冷却液体的凹槽，并置于所述的基座的槽体内，将所述的磁钢与所述的冷却液体相分离。在所述的隔离水槽的边缘设有密封圈，其上设有一盖板用以固定密封圈及与上面部件相隔离。

基本信息

专利标题：

平面阴极用隔离冷却结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820008722.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-26

授权号：

CN201183821Y

授权日：

2009-01-21

发明人：

施玉安何光俊

申请人：

上海北玻镀膜技术工业有限公司

申请人地址：

201614上海市松江区小昆山镇光华路328号

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司

代理人：

孙皓晨

优先权：

CN200820008722.1

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/34

溅射

C23C14/35

利用磁场的，例如磁控溅射

法律状态

2018-04-20 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20080326
授权公告日 : 20090121

2009-07-15 ：

专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海北玻镀膜技术工业有限公司
变更后权利人 : 上海北玻玻璃技术工业有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 上海市松江区小昆山镇光华路328号,邮编 : 201614
变更后 : 上海市松江区小昆山镇光华路328号,邮编 : 201614
登记生效日 : 20090605

2009-01-21 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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