一种可调式平面阴极
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调式平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述的导柱套设在导套的内孔中，导柱的上表面与阴极体的下表面相连，导柱的下表面与导套内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀，所述导套的下表面与底座的上表面相连；所述弹簧的一端与阴极体相连，弹簧的另一端抵接在导套的上表面上。通过升降装置可以调节阴极体的高度，从而调节磁场，以获得更好的磁控镀膜效果。
基本信息
专利标题 ：
一种可调式平面阴极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921114590.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-17
授权号 ：
CN210560706U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
匡国庆
申请人 ：
镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
代理机构 ：
镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓月芳
优先权 ：
CN201921114590.5
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
