一种速冷型平面阴极
授权
摘要
本实用新型公开了一种速冷型平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体的下表面连有速冷装置；所述的速冷装置由上盖、进水管、出水管、下板、第一侧板和第二侧板拼接而成，速冷装置的内部设有空腔；所述的进水管与出水管分别位于速冷装置的两端，进水管与出水管之间通过若干个连接管相连，所述的连接管位于空腔内，连接管的一端与进水管的侧壁相连，连接管的另一端与出水管的侧壁相连，连接管的侧壁上设有若干个微孔；通过中空的速冷装置，可以快速的将阴极体产生的热量吸收，与传统的水冷装置相比，其吸热能力更强，散热效果更为优良。
基本信息
专利标题 ：
一种速冷型平面阴极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921114592.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-17
授权号 ：
CN210560707U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
匡国庆
申请人 ：
镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
代理机构 ：
镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓月芳
优先权 ：
CN201921114592.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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