一种方便维修的平面阴极
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摘要
本实用新型公开了一种方便维修的平面阴极，包括屏蔽板、磁钢组件和靶材固定件，所述的屏蔽板的下端面设置屏蔽槽，所述磁钢组件设置在屏蔽槽内，所述磁钢组件包括靶壳、磁座和磁体，靶材固定件安装在屏蔽槽槽口处，靶材固定件包括背板和挤压机构，所述背板安装在靶壳下方，所述背板和挤压机构配合安装靶材。本实用新型具有的优点是设计电磁锁卡合在靶材两侧，电磁锁中弹出的挤压件将靶材固定住，并且挤压件与靶材之间的斜边设置，使得靶材被向上挤压，从而使得靶材紧紧贴合至背板，保证冷却效果，当需要卸下靶材时，导通电磁锁，靶材因重力下落，即取下靶材，然后再将新的靶材贴合到背板下方，电磁锁失电，即锁定靶材，这样非常的方便，省时省力。
基本信息
专利标题 ：
一种方便维修的平面阴极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021884101.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-02
授权号 ：
CN214244596U
授权日 ：
2021-09-21
发明人 ：
李忠
申请人 ：
成都齐荣科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021884101.7
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-09-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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