一种抛光载具及抛光机

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种抛光载具及抛光机，抛光载具包括抛光盘和设置在抛光盘载物面的凸起；凸起的高度与待抛光晶片的厚度相同，且凸起的一侧能够与晶片解理面的边缘相贴合。在对晶片进行抛光时，将待抛光的晶片固定于抛光盘，并使晶片解理面的边缘与该凸起相贴合；因凸起的高度与晶片的厚度相同，故凸起的设置既不会影响晶片的抛光、又能够对晶片的边缘进行保护，进而避免对解理面造成磨损，防止塌边。因此，本实用新型提出的抛光载具，能够避免晶片的解理面边缘在抛光时出现塌边，解决了现阶段该领域的难题。

基本信息

专利标题：

一种抛光载具及抛光机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022497942.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-11-02

授权号：

CN213673553U

授权日：

2021-07-13

发明人：

马金峰唐林峰刘兴达周铁军

申请人：

广东先导先进材料股份有限公司

申请人地址：

广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

张东梅

优先权：

CN202022497942.9

主分类号：

B24B37/30

IPC分类号：

B24B37/30