抛光载具及抛光设备
授权
摘要
本实用新型提供一种抛光载具及抛光设备。所述抛光载具包括料篮及内衬，所述料篮上设置有装料口，所述内衬位于所述装料口内且与所述料篮相连接，待抛光的晶圆放置于所述内衬的内侧且与所述内衬具有间距，其中，所述内衬的上下表面均为水平面，且所述内衬与所述晶圆相邻的侧面为弧形面，所述晶圆部分位于所述弧形面内。本实用新型经改善的结构设计，以使内衬更好地和晶圆边缘吻合，可以有效减小甚至完全避免抛光垫在压力作用下产生形变进入晶圆和内衬间的间隙，从而有效避免晶圆边缘的过度抛光，提高晶圆的表面平坦度，有助于提高抛光良率，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
抛光载具及抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022090344.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-22
授权号 ：
CN213054268U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
王桂兰胡文才权林张宇磊季文明
申请人 ：
上海新昇半导体科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云水路1000号1-4幢、6-19幢
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
余明伟
优先权 ：
CN202022090344.X
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/06 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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