一种抛光载具的修整方法

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摘要

本发明公开了一种抛光载具的修整方法，属于抛光技术领域。修整方法包括：根据所述抛光载具的待修整面的现有形貌和修整完成后需要得到的目标形貌选取调整垫片；将所述调整垫片放置于所述抛光载具与待修整面相对设置的另一面上；抛光装置对所述抛光载具的待修整面进行抛光操作，通过磨削待修整面完成修整；所述调整垫片能够改变待修整面在沿远离其旋转中心的方向上的不同位置处的磨削量。本发明有效解决了抛光载具与待抛光件的接触面形状统一，且易磨损、更换成本高等问题。

基本信息

专利标题：

一种抛光载具的修整方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112757161A

申请号：

CN202011633942.5

公开（公告）日：

2021-05-07

申请日：

2020-12-31

授权号：

CN112757161B

授权日：

2022-04-19

发明人：

孙强柏友荣黄珊张俊宝宋洪伟陈猛

申请人：

上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司

申请人地址：

上海市松江区石湖荡镇双金路258弄158号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN202011633942.5

主分类号：

B24B53/017

IPC分类号：

B24B53/017