抛光垫修整装置及修整方法
专利权的终止
摘要

本发明公开了一种抛光垫修整装置及修整方法,该装置利用双头抛光机上立柱安装孔固定在抛光机上,修整装置的支撑主体采用框架结构,支撑主体的横梁上水平安装驱动电机、导轨,安装在导轨内的滚动丝杠通过联轴器与驱动电机相连;滑块安装在垂直方向导轨上,滚动丝杠带动垂直方向导轨和滑块左右移动,驱动电机固定在滑块下端部,通过联轴器与修整器相连,压力调节螺杆通过下自锁螺母、上自锁螺母安装在滑块上且与垂直方向导轨相连;本发明提供的抛光垫修整方法和装置具有旋转运动和直线往复运动两种修整运动,能实现抛光垫表面全局修整,旋转运动和直线往复运动的速度和修整压力大小可调,可满足不同抛光垫材料的修整要求。

基本信息
专利标题 :
抛光垫修整装置及修整方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1792553A
申请号 :
CN200510121363.1
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2005-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
魏昕熊伟袁慧胡伟
申请人 :
广东工业大学
申请人地址 :
510090广东省广州市东风东路729号
代理机构 :
广州粤高专利代理有限公司
代理人 :
林丽明
优先权 :
CN200510121363.1
主分类号 :
B24B53/12
IPC分类号 :
B24B53/12  B24B53/02  B24B37/04  H01L21/304  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/12
修整工具;其夹持装置
法律状态
2017-02-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101705177289
IPC(主分类) : H01L 21/304
专利号 : ZL2005101213631
申请日 : 20051230
授权公告日 : 20100512
终止日期 : 20151230
2010-05-12 :
授权
2006-08-23 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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