一种抛光垫修整装置

授权

摘要

本发明公开了一种抛光垫修整装置，包括：连接臂，水平延伸；修整头单元，设于连接臂的一端，用于修整抛光垫；基座单元，设于连接臂的另一端，与连接臂活动连接，用于驱动连接臂带着修整头单元垂直上下移动，以使得修整头单元沿趋于垂直的方向靠近或远离抛光垫。本发明可以稳定实现修整过程中的均匀稳定的正压力，保证了抛光修整过程的一致性；不是一个运动放大机构，可以有效减轻修整头单元在运动至抛光垫过程中对抛光垫的冲击作用；无放大作用，更容易保证修整头单元工位状态的一致性。

基本信息

专利标题：

一种抛光垫修整装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114012605A

申请号：

CN202210004130.7

公开（公告）日：

2022-02-08

申请日：

2022-01-05

授权号：

CN114012605B

授权日：

2022-05-17

发明人：

何红秀杨渊思周智鹏

申请人：

杭州众硅电子科技有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

邵志

优先权：

CN202210004130.7

主分类号：

B24B53/017

IPC分类号：

B24B53/017