一种抛光垫修整器
授权
摘要
本实用新型涉及一种抛光垫修整器，包括：修整盘，其被配置为对抛光垫进行修整；以及挡板，其与气缸连接，使得所述挡板能够在气缸的带动下在第一位置与第二位置之间切换，其中所述挡板在处于第一位置时至少部分地封闭修整盘，并且在处于第二位置时露出修整盘。通过本实用新型，可以基本上避免浆料飞溅，由此降低机台污染和产品缺陷的风险。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光垫修整器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921385873.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-23
授权号 ：
CN210524837U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
徐剑波辛君林宗贤
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李镝的
优先权 ：
CN201921385873.3
主分类号 ：
B24B53/02
IPC分类号 ：
B24B53/02 B24B53/007
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/02
磨具上的平面的
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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