传感器组件和传感器系统
授权
摘要
本申请涉及一种传感器组件和一种传感器系统。传感器组件包括用于工艺流体的通路、光学窗口、光学传感器和喷嘴。所述光学传感器被配置成检测所述工艺流体的光学性质。所述光学窗口包括内表面。所述喷嘴被配置成沿与所述光学窗口的所述内表面相交的排出方向排出雾化流体。传感器系统包括传感器组件和用于向所述传感器组件的喷嘴供应气体和液体的导管。一种清洁传感器组件中的光学窗口的方法包括形成雾化流体并沿与所述光学窗口相交的排出方向排出所述雾化流体。
基本信息
专利标题 ：
传感器组件和传感器系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022508726.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
CN214844758U
授权日 ：
2021-11-23
发明人 ：
T·加斯特
申请人 ：
恩特格里斯公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李婷
优先权 ：
CN202022508726.X
主分类号 ：
G01N21/15
IPC分类号 ：
G01N21/15 B08B3/02 B08B5/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
G01N21/15
防止光学装置的部件的沾污或光路的障碍
法律状态
2021-11-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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