高度翘曲样本的表面轮廓测量
公开
摘要
一种计量工具可包含：照射源，其用以产生照射射束；射束整形器，其包含用以将所述照射射束引导到样本的可调整光学元件；及至少一个测量通道，其用以基于来自所述样本的经反射光而产生剪切干涉图，其中在所述可调整光学元件处于默认配置中且所述样本的顶部表面正交于所述射束整形器的光轴时，所述经反射光处于经准直状态中。所述计量工具可进一步包含控制器，其用以调整所述可调整光学元件的所述配置以提供所述照射射束在所述样本上的所选择角轮廓以便至少部分地补偿所述经反射光与所述经准直状态的偏差，且基于所述一或多个剪切干涉图而产生所述样本的所述顶部表面的输出表面轮廓测量。
基本信息
专利标题 ：
高度翘曲样本的表面轮廓测量
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114631001A
申请号 ：
CN202080003081.4
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-10-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·格林D·欧文陈海光
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080003081.4
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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