翘曲检测方法
授权
摘要
一种翘曲检测方法，通过翘曲检测设备检测待测物的表面。所述方法包含：驱动干涉组件与载台沿Z轴方向彼此相对移动，供实时输出对应于所述表面的多组干涉条纹，其中载台平面相对于水平面呈锐角；计算出多组干涉条纹的多个条纹对比度值，并找出所述干涉组件的初始Z轴位置；驱动所述干涉组件的干涉物镜自所述初始Z轴位置沿Z轴方向移动，供实时输出对应于多个表面区域的所述多组干涉条纹；以及，获取所述干涉物镜的多个位移数据，据以计算出所述待测物的翘曲度数据。
基本信息
专利标题 ：
翘曲检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112325784A
申请号 ：
CN202011038861.0
公开（公告）日 ：
2021-02-05
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN112325784B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
李杰潘江帆黄书娟
申请人 ：
广州立景创新科技有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城光谱西路25号
代理机构 ：
北京市立康律师事务所
代理人 ：
梁挥
优先权 ：
CN202011038861.0
主分类号 ：
G01B11/16
IPC分类号 ：
G01B11/16 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/16
用于计量固体的变形，例如光学应变仪
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-02-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/16
申请日 : 20200928
申请日 : 20200928
2021-02-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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