用于微加工超声换能器器件的分段式吸气剂开口
实质审查的生效
摘要
披露了一种超声换能器器件，该超声换能器器件包括设置在衬底上的换能器腔体的底部电极层、以及将该底部电极层与该衬底电连接的多个通孔。底部腔体层设置在该底部电极层上，并且一个或多个开口形成于该底部腔体层中以暴露该底部电极层的区域，其中该一个或多个开口的位置是邻近该换能器腔体的外周边设置并且基本上对应于正下方未设置该多个通孔的位置的区段。
基本信息
专利标题 ：
用于微加工超声换能器器件的分段式吸气剂开口
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555248A
申请号 ：
CN202080037126.X
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-04-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘建伟缪凌云
申请人 ：
布弗莱运营公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李德山
优先权 ：
CN202080037126.X
主分类号 ：
B06B1/06
IPC分类号 ：
B06B1/06 G01L7/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
B06B1/06
用压电效应或用电致伸缩工作的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B06B 1/06
申请日 : 20200409
申请日 : 20200409
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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