用于在烧结设备中检测过程参数的传感器元件和装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种传感器元件(11、…、15)，用于在烧结设备中的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数。此外，本发明涉及一种用于将用于在多个测量点(M1、…、M5)处检测过程参数的多个传感器元件(11、…、15)的组合的装置(100)。为了能够容易地同时检测芯片烧结过程的多个过程参数的组合，提出了一种用于在烧结机/烧结设备中的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数的传感器元件(11、…、15)。为此，传感器元件(11、…、15)具有第一温度传感器(T1)和力传感器(F1)，它们被布置为使得在布置有传感器元件的测量点(M1、…、M5)处检测力和温度。此外，本发明涉及一种用于在烧结设备中的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数的装置(100)，其具有多个根据本发明的传感器元件(11、…、15)和检测模块(150)，检测模块被构造为用于在布置有传感器元件(11、…、15)的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数。
基本信息
专利标题 ：
用于在烧结设备中检测过程参数的传感器元件和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114364957A
申请号 ：
CN202080060473.4
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2020-06-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M.哈尼希N.杰斯克D.索默费尔德U.威特赖克J.马西勒M.马蒂维
申请人 ：
西门子股份公司
申请人地址 ：
德国慕尼黑
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
侯宇
优先权 ：
CN202080060473.4
主分类号 ：
G01K13/00
IPC分类号 ：
G01K13/00 G01L5/00 G01D21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K13/00
特殊用途温度计
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01K 13/00
申请日 : 20200626
申请日 : 20200626
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
