相同过程多个参数的监控
专利申请的视为撤回
摘要
一种用于监控对于至少一个过程参数来说是相同的多个过程的方法及装置，其采用了多个传感器，每个传感器都用于监控各自一个过程的那一个过程参数，从传输器响应中获取一系列响应取样，每个响应取样都从各自传感器获得，对由每个取样表示的传感器响应的预定特征进行评价，监控步骤在一处理路径中完成，路径的输入是串行施加的所有取样，其输出用以提供对每个取样评价结果的指示；其后解释每个取样的评价结果的指示，以获得对每个过程状态的指示。
基本信息
专利标题 ：
相同过程多个参数的监控
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1039670A
申请号 ：
CN89104275.X
公开（公告）日 ：
1990-02-14
申请日 ：
1989-06-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
詹姆斯·C·比洛
申请人 ：
西屋电气公司
申请人地址 ：
美国宾夕法尼亚
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
付康
优先权 ：
CN89104275.X
主分类号 ：
G06F15/46
IPC分类号 ：
G06F15/46 G06F11/30
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法律状态
1993-07-21 ：
专利申请的视为撤回
1991-09-25 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1990-02-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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