用于进行材料去除操作的流体组合物及方法
实质审查的生效
摘要
一种适用于对基板进行化学机械抛光的流体组合物，所述流体组合物可包括多价金属硼酸盐、至少一种氧化剂和溶剂。所述流体组合物可基本上不含磨料颗粒并且可以实现高材料去除率和优异的表面光洁度。
基本信息
专利标题 ：
用于进行材料去除操作的流体组合物及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114286846A
申请号 ：
CN202080061045.3
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
富琳贾森·A·舍洛克裴龙辉道格拉斯·E·沃德
申请人 ：
圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京允天律师事务所
代理人 ：
李建航
优先权 ：
CN202080061045.3
主分类号 ：
C09G1/04
IPC分类号 ：
C09G1/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09G
抛光组合物；滑雪屐蜡
C09G1/00
抛光组合物
C09G1/04
水性分散剂
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09G 1/04
申请日 : 20200827
申请日 : 20200827
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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