一种屏下阴极材料的去除系统及去除方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种屏下阴极材料的去除系统,包括:激光发射器,激光发射器用于发射激光;二维可调狭缝组件,二维可调狭缝组件用于将激光整形为矩形光斑或线形光斑;管镜,管镜位于二维可调狭缝组件远离激光发射器的一端,用于将矩形光斑或线形光斑进行聚焦;物镜,物镜位于管镜远离二维可调狭缝组件的一端,用于将聚焦后的矩形光斑或线形光斑进行成像;真空腔体,真空腔体位于物镜远离管镜的一端,其内部用于放置屏体。本发明在真空环境下,利用精确可调节的红外激光能量和重力作用,使冗余的阴极材料脱离屏体,且超快激光脉宽极短,热效应小,可实现“冷加工”,从而可实现精准的选择性加工,又可避免对阴极层相邻结构造成热损伤和破坏。

基本信息
专利标题 :
一种屏下阴极材料的去除系统及去除方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114346446A
申请号 :
CN202210015146.8
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
白丹妮
申请人 :
珠海东辉半导体装备有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号5栋1层
代理机构 :
北京华际知识产权代理有限公司
代理人 :
邓大文
优先权 :
CN202210015146.8
主分类号 :
B23K26/36
IPC分类号 :
B23K26/36  B23K26/04  B23K26/06  B23K26/073  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/36
申请日 : 20220107
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332