阴极保护下超声波辅助去除不锈钢表面铂金属的化学方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种阴极保护下超声波辅助去除不锈钢表面铂金属的化学方法，在于化学药水配比，采用氯化钠代替盐酸提供配位氯离子，降低药水腐蚀性，延缓部件腐蚀速率，硅片连接阴极，减缓部件与药水发生反应，降低附件腐蚀程度。
基本信息
专利标题 ：
阴极保护下超声波辅助去除不锈钢表面铂金属的化学方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114457337A
申请号 ：
CN202210186958.9
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
阮安俊贺贤汉周毅
申请人 ：
安徽富乐德科技发展股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市金桥经济开发区
代理机构 ：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
李坤
优先权 ：
CN202210186958.9
主分类号 ：
C23F1/28
IPC分类号 ：
C23F1/28 C25F1/06 B08B7/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/28
蚀刻铁族金属用的
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/28
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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