压力传感器元件
公开
摘要
本发明提供适于小型化的传感器元件。本发明的压力传感器元件具有：金属板；绝缘膜，其以在作为所述金属板的一个表面的第一表面形成所述第一表面被覆盖的覆盖区域和所述第一表面露出的露出区域的方式设置；以及压力检测电路，其以通过所述绝缘膜相对于所述第一表面绝缘的方式，形成于所述绝缘膜。
基本信息
专利标题 ：
压力传感器元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303047A
申请号 ：
CN202080061192.0
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小林正典海野健笹原哲也绳冈孝平
申请人 ：
TDK株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN202080061192.0
主分类号 ：
G01L9/04
IPC分类号 ：
G01L9/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/04
电阻应变仪的
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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