衬底包括：第一区域，其中设置激光器阵列芯片。衬底包括：第二区域，其中设置平面光波电路。第二区域相对于第一区域升高。在第一区域和第二区域之间的衬底中形成沟槽。衬底包括：第三区域，其中设置光纤对准装置。第三区域位于与衬底内的第二区域相邻且位于比所述第二区域低的高度。平面光波电路具有面向激光器阵列芯片的相应光输出并与所述相应光输出对准的光输入。平面光波电路具有面向第三区域的光输出。光纤对准装置被配置成容纳光纤，使得光纤的光芯分别与平面光波电路的光输出对准。