MEMS致动系统
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；以及第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；其中，第一平面内MEMS致动器被耦合至第二平面内MEMS致动器。
基本信息
专利标题 ：
MEMS致动系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503421A
申请号 ：
CN202080065206.6
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马修·恩格刘晓蕾王桂芹
申请人 ：
麦斯卓有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京高文律师事务所
代理人 ：
王冬
优先权 ：
CN202080065206.6
主分类号 ：
H02N1/00
IPC分类号 ：
H02N1/00 G02B13/00 G02B7/09 G03B13/32 G03B17/00 H01L41/09
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 1/00
申请日 : 20200918
申请日 : 20200918
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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