使用电子可变电容器的交互调变失真减缓器
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种系统匹配网络，其具有非线性负载且由在第一频率操作的第一射频电源供应以及在第二频率操作的第二射频电源供应来供电。匹配网络包含第一匹配网络部分，其用于在第一电源供应与负载之间提供阻抗匹配。匹配网络还包含第二匹配网络部分，其用于在第二电源供应与负载之间提供阻抗匹配。第一匹配网络部分包含第一可变电抗，且可变电抗根据在由第一射频电源供应施加至负载的信号中测得的交互调变失真来控制。可变电抗根据交互调变失真来调整以减少检测到的交互调变失真。
基本信息
专利标题 ：
使用电子可变电容器的交互调变失真减缓器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450770A
申请号 ：
CN202080066047.1
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许金亚伦·T·瑞多姆斯基阮维金洙汉
申请人 ：
MKS仪器有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京德琦知识产权代理有限公司
代理人 ：
于会玲
优先权 ：
CN202080066047.1
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H05H1/46
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20201020
申请日 : 20201020
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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