提供了一种用于分析传感器的传感器数据的设备，该传感器设置在通过使用能量束辐照原材料的层来制造三维工件的装置中。该设备包括控制单元，该控制单元被配置成接收传感器数据作为数据值的时间序列。每个数据值表示在制造三维工件期间装置内的工艺条件。控制单元还被配置成接收针对三维工件的规划数据。规划数据限定多个扫描向量和沿扫描向量对能量束进行扫描所依据的顺序。控制单元还被配置成将时间序列的数据值与规划数据的扫描向量的相应向量数据相关联，以形成针对相应扫描向量的多个数据值集合，并基于规划数据限定多个扫描向量中的至少两个扫描向量的组。该组的扫描向量满足预定的相似性准则。该控制单元还被配置成将该组中的第一扫描向量的数据值集合与该组中的至少一个第二扫描向量的数据值集合进行比较，或将该组中的第一扫描向量的数据值集合与从该组的至少两个第二扫描向量推出的组合的数据值集合进行比较，并基于该比较来确定在该第一扫描向量的位置处的工件的质量度量。此外，还提供了相应的方法和计算机程序产品。