液滴生成器喷嘴
公开
摘要
公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。
基本信息
专利标题 ：
液滴生成器喷嘴
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555537A
申请号 ：
CN202080072568.8
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·U·H·特雷斯E·J·比伊斯T·W·德赖森B·A·萨姆斯B·M·约翰逊
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080072568.8
主分类号 ：
C03C27/02
IPC分类号 ：
C03C27/02 C03C27/04 H05G2/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C27/00
玻璃制件与其他无机材料制件的接合；玻璃与玻璃的非熔化法接合
C03C27/02
将玻璃直接熔化在金属上
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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