液滴喷头的制造方法、液滴喷头及液滴喷出装置
专利权的终止
摘要
提供一种制造中硅基板不会产生裂纹或缺陷，而且成品率也高的液滴喷头的制造方法。本发明的液滴喷头的制造方法，具有：对硅基板(30)的一面蚀刻，形成成为喷嘴(8)的凹部的工序；在形成有成为硅基板(30)的喷嘴(8)的凹部的面上粘合支持基板(40)的工序；从硅基板(30)的粘合了支持基板(40)面的反面将硅基板(30)薄板化的工序；和在硅基板薄板化后将支持基板(40)与硅基板(30)剥离的工序。
基本信息
专利标题 ：
液滴喷头的制造方法、液滴喷头及液滴喷出装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1785674A
申请号 ：
CN200510131041.5
公开（公告）日 ：
2006-06-14
申请日 ：
2005-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
荒川克治松本康享
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李香兰
优先权 ：
CN200510131041.5
主分类号 ：
B41J2/16
IPC分类号 ：
B41J2/16 C23F1/24
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41J
打字机；选择性印刷机构，即不用印刷的印刷机构；排版错误的修正标记的记录载体入G06K；免费证或票券印刷及发行设备入G07B；电键式开关一般入H01H13/70，H03K17/94；与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M11/00；传递数字信息的接收或发送机入H04L；文件或
B41J2/00
以打印或标记工艺为特征而设计的打字机或选择性印刷机构
B41J2/005
特征在于使液体或粉粒有选择地与印刷材料接触
B41J2/01
油墨喷射
B41J2/135
喷嘴
B41J2/16
喷嘴的制造
法律状态
2020-11-13 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B41J 2/16
申请日 : 20051207
授权公告日 : 20081029
终止日期 : 20191207
申请日 : 20051207
授权公告日 : 20081029
终止日期 : 20191207
2008-10-29 ：
授权
2006-08-09 ：
实质审查的生效
2006-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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