静电驱动器、液滴喷头及其制造方法、液滴喷出装置以及设备

专利权的终止

摘要

提供具有施加相同电压时发生压力高且绝缘耐性优异的绝缘膜的静电驱动器、适用该静电驱动器的液滴喷头及其制造方法、适用该液滴喷头的打印性能等高的液滴喷出装置以及适用上述静电驱动器的驱动性能高的设备。其具备振动板(12)、与该振动板(12)隔开间隙对置的对置电极(17)、在振动板(12)侧的表面形成的绝缘膜(16)，该绝缘膜(16)具有至少由相对介电常数比氧化硅高的物质构成的高介电常数膜(16a)。

基本信息

专利标题：

静电驱动器、液滴喷头及其制造方法、液滴喷出装置以及设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1788999A

申请号：

CN200510131045.3

公开（公告）日：

2006-06-21

申请日：

2005-12-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

藤井正宽荒川克治

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

优先权：

CN200510131045.3

主分类号：

B41J2/135

IPC分类号：

B41J2/135 B41J2/04 B41J2/16 H02N1/00