校正用面板、面板检查用校正装置以及面板检查装置的校正方法
公开
摘要
本发明涉及一种自动检测板材表面、内部的凹槽或突起信息的装置，涉及一种为了防止设备的误差定期校正设备的装置，一种用于校正的校正用面板，以及一种设备的校正方法。具体地，校正用面板包括：面板(100)，其为板材形状，且两面平行；基准标记(110)，其形成于所述面板的一面或两面；以及人工缺陷(130)，其形成于所述面板的内部或表面。
基本信息
专利标题 ：
校正用面板、面板检查用校正装置以及面板检查装置的校正方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114585912A
申请号 ：
CN202080073573.0
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
闵庚勋
申请人 ：
科美科技株式会社
申请人地址 ：
韩国大田广域市
代理机构 ：
北京润平知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘兵
优先权 ：
CN202080073573.0
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/88 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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