原材料供给单元、包含其的单晶硅锭料生长设备以及原材料供给...
公开
摘要
提供了一种原材料供给单元，其包括：具有填充原材料的空间的主体；在纵向方向上将主体分成至少两个区域的分隔物；分别设置在被分隔物分开的主体相应区域中的至少两个阀，从而打开/闭合主体的靠下部分；以及用于使各阀独立于彼此在纵向方向上提升的驱动单元。
基本信息
专利标题 ：
原材料供给单元、包含其的单晶硅锭料生长设备以及原材料供给方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114599825A
申请号 ：
CN202080074412.3
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-02-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
申伦光李荣中
申请人 ：
爱思开矽得荣株式会社
申请人地址 ：
韩国庆尚北道
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
蔡文清
优先权 ：
CN202080074412.3
主分类号 ：
C30B15/02
IPC分类号 ：
C30B15/02 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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