基于MEMS的气流系统
公开
摘要
公开了一种包括孔板、风扇元件和至少一个通道的系统。孔板在其中具有至少一个孔口。风扇元件构造成经历振动运动以驱动流体通过(多个)孔口。响应于流体被驱动通过所述至少一个孔口，流体被抽吸通过(多个)通道。
基本信息
专利标题 ：
基于MEMS的气流系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114586479A
申请号 ：
CN202080075265.1
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
A·S·亚拉马蒂V·穆坤丹S·甘地N·P·拉亚帕蒂P·萨斯亚墨菲S·R·马哈瓦佩迪M·米纳德B·J·加利
申请人 ：
福珞尔系统公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
郭帆扬
优先权 ：
CN202080075265.1
主分类号 ：
H05K7/20
IPC分类号 ：
H05K7/20 G06F1/20 H01L23/34 H01L23/46 H01L23/467 H01L23/473
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
