气流控制系统

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种气流控制系统，包括：气流传感器、控制器与鼓风提取器；气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。本实用新型在没有任何不利影响的基础上能减少上下料系统的尘粒含量，避免尘粒污染及产品产量下降。

基本信息

专利标题：

气流控制系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620046601.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-10-08

授权号：

CN200953093Y

授权日：

2007-09-26

发明人：

于凤雷吴凌辉张伟

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

王函

优先权：

CN200620046601.7

主分类号：

G05D7/06

IPC分类号：

G05D7/06 H01L21/677 H01L21/00

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G05

控制；调节

G05D

非电变量的控制或调节系统

G05D7/00

流量控制

G05D7/06

以使用电装置为特征的

法律状态

2016-11-23 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101689446039
IPC(主分类) : G05D 7/06
专利号 : ZL2006200466017
申请日 : 20061008
授权公告日 : 20070926
终止日期 : 无

2012-12-19 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101488394150
IPC(主分类) : G05D 7/06
专利号 : ZL2006200466017
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121120

2007-09-26 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

CN200953093Y.PDF

PDF下载