具有液膜喷射标靶的激光产生等离子体照明器
公开
摘要
本文中呈现用于从采用液膜喷射标靶的激光产生等离子体(LPP)产生X射线照明的方法及系统。将经高度聚焦短持续时间激光脉冲引导到液膜喷射标靶。所述经聚焦激光脉冲与所述膜喷射标靶的相互作用点燃等离子体。在一些实施例中，液膜喷射由会聚毛细管喷嘴或会聚平面腔喷嘴产生。在一些实施例中，标靶材料包含具有相对低原子序数的一或多种元素。在一些实施例中，液膜喷射LPP光源产生用于测量半导体结构的结构特性及材料特性的在软X射线(SXR)光谱范围中的多谱线照明或宽带X射线照明。在一些实施例中，用如本文中所描述的液膜喷射LPP照明源来执行反射小角度X射线散射测量。
基本信息
专利标题 ：
具有液膜喷射标靶的激光产生等离子体照明器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616459A
申请号 ：
CN202080075892.5
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张超W·舒马克J·基姆M·弗里德曼
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080075892.5
主分类号 ：
G01N23/201
IPC分类号 ：
G01N23/201 H05H1/24 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用材料辐射的散射，例如测试非晶材料；利用材料辐射的反射
G01N23/201
测量小角散射，例如小角X射线散射
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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