溅射标靶
专利权的终止
摘要
本发明提供一种溅射标靶，其是以锌及锡的氧化物作为主成分的氧化物，表示其氧化物的组成的[Zn]/([Zn]+[Sn])处于大于0.40且小于0.97的范围，其中，[Zn]表示锌原子的数量、[Sn]表示锡原子的数量。
基本信息
专利标题 ：
溅射标靶
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101880859A
申请号 ：
CN201010171589.3
公开（公告）日 ：
2010-11-10
申请日 ：
2005-12-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
井上一吉松原雅人田中信夫松崎滋夫矢野公规
申请人 ：
出光兴产株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李贵亮
优先权 ：
CN201010171589.3
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/08
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2018-02-02 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20051220
授权公告日 : 20130327
终止日期 : 20161220
申请日 : 20051220
授权公告日 : 20130327
终止日期 : 20161220
2013-03-27 ：
授权
2010-12-22 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101026283644
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 2010101715893
申请日 : 20051220
号牌文件序号 : 101026283644
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 2010101715893
申请日 : 20051220
2010-11-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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