消减设备中操作条件的优化
公开
摘要
公开了一种优化消减设备中的操作条件的方法和一种消减设备，这种消减设备被配置为处理来自加工工具的流出物流。优化被配置为处理来自加工工具的流出物流的消减设备中的操作条件的方法包括：确定当处理流出物流时由消减设备产生的一氧化碳的浓度；以及响应于一氧化碳的浓度来调整消减设备的操作参数。以此方式，可通过响应于所产生的一氧化碳的量简单地调整消减装置的操作参数来控制消减装置的性能，以在消减设备内创造改进消减装置内被处理的化合物的移除的条件，同时减少不期望的副产物，且不需要对流出物流的含量的预先了解。
基本信息
专利标题 ：
消减设备中操作条件的优化
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114599918A
申请号 ：
CN202080076980.7
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·M·普赖斯M·C·格拉厄姆
申请人 ：
爱德华兹有限公司
申请人地址 ：
英国西萨塞克斯郡
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
刘桢
优先权 ：
CN202080076980.7
主分类号 ：
F23G7/06
IPC分类号 ：
F23G7/06 F23N1/02 F23N5/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F23
燃烧设备；燃烧方法
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G7/00
专门适用于焚烧特殊废物或低品位燃料
F23G7/06
处理废气或秽气的，例如排气
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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