一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法
授权
摘要

本发明提供一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法,晶圆水平电镀装置包括晶圆载具、电镀液池和至少1组阴极电镀液喷头组合,电镀液池包括阳极电镀液池体和阴极电镀液池体,在阴极电镀液池体和阳极电镀液池体之间设置离子膜,每组阴极电镀液喷头组合包括2个相对设置的阴极电镀液喷头。通过阴极电镀液喷头产生平行于晶圆表面的流体,从而将积存在晶圆待电镀结构层内的气泡顺着流体而排出,防止电镀空穴产生;电镀时,两个相对设置的阴极电镀液喷头分别对应于晶圆外圆周下方的两侧,所有的阴极电镀液喷头轮流喷液,进而产生不同方向的液流,防止单一液流方向造成的镀层厚度不均匀,确保晶圆镀层均一稳定。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112853441A
申请号 :
CN202110021822.8
公开(公告)日 :
2021-05-28
申请日 :
2021-01-08
授权号 :
CN112853441B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
何志刚余丞宏
申请人 :
上海戴丰科技有限公司
申请人地址 :
上海市松江区石湖荡镇长塔路945弄18号1楼S-31
代理机构 :
苏州所术专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙兵
优先权 :
CN202110021822.8
主分类号 :
C25D17/00
IPC分类号 :
C25D17/00  C25D5/08  C25D7/12  C25D17/06  C25D21/18  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
法律状态
2022-04-08 :
授权
2021-06-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 17/00
申请日 : 20210108
2021-05-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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