本发明公开了一种有机硅苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法，包括：1)制备含苯并咪唑硫醇单体，即2‑(4‑(1‑甲基苯并咪唑‑2‑基)苯基)乙硫醇；2)制备侧乙烯基硅油；3)硫醇单体与乙烯基硅油进行巯基‑乙烯基点击反应使聚硅氧烷分子量上接枝苯并咪唑基团，再经季铵化后，得到有机硅苯并咪唑缓蚀剂；与现有技术相比，本发明提供的有机硅苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，条件温和且产率高，分子结构易于控制和设计，并且具有良好的水溶性和热稳定性，适用于各种复杂的环境。