一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法
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摘要
本发明公开了一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法，所述齿轮动态啮合力检测薄膜传感器，包括：绝缘层，用于设置于齿轮基体表面；电极，电极溅射于绝缘层的表面；电极包括齿电极和轴电极，齿电极和轴电极通过导线电连接；压力敏感元件，包括：MoS2压阻薄膜；其中，MoS2压阻薄膜为弓形结构，MoS2压阻薄膜溅射于轮齿啮合齿面的绝缘层的表面；MoS2压阻薄膜与齿电极电连接。本发明的齿轮动态啮合力检测薄膜传感器，在齿轮啮合过程中，压阻薄膜受应力作用发生应变，电阻发生规律变化，输出性能稳定，具有一体化、超薄型、响应快、超灵敏等优势，可实时监测齿轮运行的健康状态。
基本信息
专利标题 ：
一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112985651A
申请号 ：
CN202110063419.1
公开（公告）日 ：
2021-06-18
申请日 ：
2021-01-18
授权号 ：
CN112985651B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
张琪庞星赵星越赵玉龙
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
范巍
优先权 ：
CN202110063419.1
主分类号 ：
G01L1/16
IPC分类号 ：
G01L1/16 G01L5/00 G01M13/021
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/16
利用压电器件的性质
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-07-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/16
申请日 : 20210118
申请日 : 20210118
2021-06-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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