一种等离子气体产生系统、方法、存储介质及电子设备
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摘要
本发明涉及一种等离子气体产生系统、方法、存储介质及电子设备，包括：回路振荡电路，与回路振荡电路连接的升压变压器，与升压变压器连接的高压硅堆，与高压硅堆连接的第一槽振荡回路，与第一槽振荡回路连接的第二槽振荡回路；回路振荡电路用于将输入的原始三相交流电压进行功率调节，得到低压交流电压；高压硅堆用于将升压交流电压进行整流，得到直流目标电压；第一槽振荡回路用于根据反馈信号的栅极电流，对直流目标电压进行频率调节，得到第一槽振电压；第二槽振荡回路用于对第一槽振电压进行谐振处理，得到等离子产生电压，等离子产生电压用于对气体进行加热。这样，可以对气体进行感应加热，得到高温高速等离子体。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子气体产生系统、方法、存储介质及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112954876A
申请号 ：
CN202110122458.4
公开（公告）日 ：
2021-06-11
申请日 ：
2021-01-29
授权号 ：
CN112954876B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
胡雷
申请人 ：
苏州汉霄等离子体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区贤士路88号7幢802-C
代理机构 ：
苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宇
优先权 ：
CN202110122458.4
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-07-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/46
申请日 : 20210129
申请日 : 20210129
2021-06-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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