一种电子级六氟化硫的多级制备方法
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摘要
本发明提供了一种电子级六氟化硫的多级制备方法，包括：将氟气通入卧式SF6反应单元，并与硫磺蒸汽在195～205℃持续反应形成SF6粗气；将反应单元SF6粗气除尘后通入热解单元中，将SF6粗气中的S2F10气体热解；将步骤S2处理后的混合气体通入水洗单元进行水洗，得到一级纯化气体；将反应单元一级纯化气体通入碱洗单元进行碱洗，得到二级纯化气体；将反应单元二级纯化气体通入水气分离单元以去除水分得到三级纯化气体；将反应单元三级纯化气体通入低压吸附单元中吸附，得到四级纯化气体；将反应单元四级纯化气体通入高压吸附单元中吸附得到五级纯化气体；将反应单元五级纯化气体通入精馏单元进行精馏，得到电子级六氟化硫。
基本信息
专利标题 ：
一种电子级六氟化硫的多级制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112850654A
申请号 ：
CN202110142779.0
公开（公告）日 ：
2021-05-28
申请日 ：
2021-02-02
授权号 ：
CN112850654B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
华祥斌赖金香张朝春刘志强罗浩邱桂祥
申请人 ：
福建德尔科技有限公司
申请人地址 ：
福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号
代理机构 ：
厦门原创专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐东峰
优先权 ：
CN202110142779.0
主分类号 ：
C01B17/45
IPC分类号 ：
C01B17/45
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B17/00
硫；其化合物
C01B17/45
含氧或不含氧的硫和卤素的化合物
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-06-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 17/45
申请日 : 20210202
申请日 : 20210202
2021-05-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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