一种电子束辐照增强装置及其使用方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种电子束辐照增强装置,包括电子束源和样品,所述样品位于电子束源的下方,所述电子束源包括固定壳,且固定壳的顶部外壁开设有第一固定孔,所述第一固定孔的内壁设置有阴极,所述固定壳的底端外壁开设有第二固定孔,且第二固定孔的内壁设置有阳极。本发明通过设置有直线型电子传输通道、直线型屏蔽罩、电场、第一电极、第二电极、波浪型电子传输通道和波浪型屏蔽罩,通过上述部件之间的一个或者多个组合使用能够以通过改变电子的传输方向和增加电子的产额来提高对样品的轰击效果,相对于现有技术来说,显著提高电子利用效率,使产生的电子物尽其用,操作简单,成本较低,减少了电子的浪费。

基本信息
专利标题 :
一种电子束辐照增强装置及其使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114284124A
申请号 :
CN202110144628.9
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-02-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
唐志宏谷胜栋
申请人 :
湖州超群电子科技有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市红丰路1366号5幢1206-11
代理机构 :
上海云沪专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郑义红
优先权 :
CN202110144628.9
主分类号 :
H01J37/065
IPC分类号 :
H01J37/065  H01J37/09  H01J37/10  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/06
电子源;电子枪
H01J37/065
枪或其部件的构造
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/065
申请日 : 20210202
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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