本发明提供一种用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备，该装置包括起雾装置本体，起雾装置本体包括连接管、供给组件、温湿度发生组件和余雾捕抓组件；温湿度发生组件包括水容器与喷头组件，余雾捕抓组件包括抽风机与捕抓口，待检测产品位于捕抓口与喷头组件之间；在抽风机的驱动下，从喷头组件排出的水雾向捕抓口流动，以使得一部分水雾覆盖于待检测产品表面，另一部分水雾从待检测产品的侧边流入捕抓口内；该装置将待检测产品置于温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间，利用温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间的配合以控制水雾的温度、流向以及流速，以使得水雾均匀的覆盖于待检测产品表面，提高检测的准确率。