储液槽储液状态侦测方法及装置
授权
摘要
本发明提供一种储液槽储液状态侦测方法及装置，其在判断所述储液槽的储液状态时采用不同的预设值作为参考依据，避免了现有技术中采用同一预设值作为参考依据而带来的误报警，避免影响半导体器件的处理，且大大减少了半导体机台停机次数，大大提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
储液槽储液状态侦测方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112985543A
申请号 ：
CN202110208668.5
公开（公告）日 ：
2021-06-18
申请日 ：
2021-02-25
授权号 ：
CN112985543B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
石晓庆吴滔付刚
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN202110208668.5
主分类号 ：
G01F23/292
IPC分类号 ：
G01F23/292
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F23/00
液体液面或流动的固态材料料面的指示或测量，例如，用容积指示，应用报警装置的指示
G01F23/22
通过测量除线性尺寸、压力或重量以外的其他与被测液面有关的物理变量，例如，通过测量蒸汽或水传热的差异
G01F23/28
通过测量直接施加到液体或流动的固态材料上的电磁波或声波参数的变化
G01F23/284
电磁波
G01F23/292
光
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-07-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01F 23/292
申请日 : 20210225
申请日 : 20210225
2021-06-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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