无外场自旋轨道矩驱动磁翻转磁矩的器件及制备方法
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摘要
本发明公开了一种无外场自旋轨道矩驱动磁翻转磁矩的器件及制备方法，器件自下而上依次包括：基片；功能层，包括CoFe2O4层，CoFe2O4层利用磁致伸缩的逆效应提供平面内磁各向异性场；自旋轨道转矩层，用于在磁各向异性场的作用下翻转磁遂道结内自由层的磁化方向；磁遂道结，包括自由层和参考层，自由层和参考层之间设置有势垒隧穿层，磁遂道结通过自由层的磁化方向记录信息；保护层，用于防止磁遂道结被氧化或被腐蚀；CoFe2O4层用于减少自旋轨道转矩层在写入过程中的电流分流效应，通过在CoFe2O4上施加荷载，利用磁致伸缩的逆效应提供平面内磁各向异性场，用以给自由层提供磁翻转所需要的外磁场，实现无外场自旋轨道矩驱动磁翻转磁矩，减小了翻转电流，降低功耗。
基本信息
专利标题 ：
无外场自旋轨道矩驱动磁翻转磁矩的器件及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112968125A
申请号 ：
CN202110222880.7
公开（公告）日 ：
2021-06-15
申请日 ：
2021-02-26
授权号 ：
CN112968125B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
吴东阳毕冲卢年端李泠刘明
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
鄢功军
优先权 ：
CN202110222880.7
主分类号 ：
H01L43/08
IPC分类号 ：
H01L43/08 H01L43/10 H01L43/12
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-07-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 43/08
申请日 : 20210226
申请日 : 20210226
2021-06-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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