图像感测器及其形成方法
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提出一种图像感测器及其形成方法，图像感测器的形成方法包括提供基底，包括多个感测部；形成彩色滤光层于基底上；形成微透镜材料层于彩色滤光层上；以及形成硬掩模图案于微透镜材料层上，其中硬掩模图案具有第一间隙和大于第一间隙的第二间隙。图像感测器的形成方法包括回流硬掩模图案以形成多个圆盖物；将圆盖物转移至微透镜材料层以形成多个微透镜；以及形成顶膜顺应性地于微透镜上。
基本信息
专利标题 ：
图像感测器及其形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114447003A
申请号 ：
CN202110235650.4
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-03-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林桂安林绮涵
申请人 ：
采钰科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
聂慧荃
优先权 ：
CN202110235650.4
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/146
申请日 : 20210303
申请日 : 20210303
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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