一种混合式磁聚焦透镜电子束成像系统
授权
摘要
本发明涉及一种混合式磁聚焦透镜电子束成像系统。该系统中光电阴极、阳极栅网、门控微通道板和CCD摄像模块依次同轴排列，光电阴极和阳极栅网紧邻设置，门控微通道板和CCD摄像模块紧邻设置，阳极栅网和门控微通道板间隔预设飞行距离；两个短磁透镜分别放置在光电阴极和门控微通道板处，四个长磁透镜均匀放置在阳极栅网和门控微通道板间隔的电子漂移区。本发明的平面光电阴极经混合式磁透镜成像后，像面也是一个平面，从而提高其空间分辨率均匀性，使得轴上点和轴外点空间分辨率一致。
基本信息
专利标题 ：
一种混合式磁聚焦透镜电子束成像系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113192814A
申请号 ：
CN202110318828.1
公开（公告）日 ：
2021-07-30
申请日 ：
2021-03-25
授权号 ：
CN113192814B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
王峰蔡厚智刘进元
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心;深圳大学
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
纪婷婧
优先权 ：
CN202110318828.1
主分类号 ：
H01J37/04
IPC分类号 ：
H01J37/04 H01J37/141 H01J37/26
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2021-08-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/04
申请日 : 20210325
申请日 : 20210325
2021-07-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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